Каталог ГОСТ
Актуальность базы: 01.06.2024, объем: 50,341 документа(ов)
Для отображения списка документов выберите категорию из классификатора каталога ГОСТов.
Чтобы отобразить подкатегории классификатора ГОСТ, кликните по иконке со знаком плюс
и дождитесь подгрузки подкатегорий в нижней части экрана.
Если наименование ГОСТа заранее известно, можете воспользоваться формой поиска ниже.
Полный перечень ГОСТ в базе (алфавитный порядок)
№ |
Номер |
Название |
Дата введения |
Статус |
1 |
ГОСТ Р 52250-2004 |
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
01.01.2005 |
действующий |
| Англ. название: Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications Область применения: Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Нормативные ссылки: ГОСТ 2.114-95;ГОСТ 12.1.005-88;ГОСТ 12.1.007-76;ГОСТ 12.1.014-84;ГОСТ 33-2000;ГОСТ 3885-73;ГОСТ 7376-89;ГОСТ 10028-81;ГОСТ 13841-95;ГОСТ 14192-96;ГОСТ 14870-77;ГОСТ 17622-72;ГОСТ 19433-88;ГОСТ 22001-87;ГОСТ 27025-86;ГОСТ Р 50766-95 |